太阳能电池工艺流程 太阳能电池工艺流程 制绒清洗 扩散 刻蚀 去PSG PECVD 丝网印刷 烧结 测试分档 分选 包装 卫浴网 http:/ 1制绒和清洗 制绒和清洗 2概 概 述 述 形成起伏不平的绒面,增加硅片对 太阳光的吸收 去除硅片表面的机械损伤层 清除表面油污和金属杂质 硅片表面处理的目的: 3硅片表面的机械损伤层 硅片表面的机械损伤层 硅片 机械损伤层 4制绒:表面织构化 制绒:表面织构化 单晶硅片表面的 金字塔状绒面 单晶硅片表面反射率 5绒面腐蚀原理 绒面腐蚀原理 利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体 取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特 性,在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面 形貌 ,就称为表面织构化。角锥体四面全 是由111面包围形成。 反应式为: Si+2KOH+H 2 O K 2 SiO 3 +2H 2 6绒面光学原理 绒面光学原理 制备绒面的目的: 减少光的反射率,提高短路电流(Isc) ,最终提高电池的光电转换效率。 陷光原理:当光入射到一定角度的斜面,光 会反射到另一角度的斜面,形成二次或者多 次吸收,从而增加吸收率。 7绒面光学原理 绒面光学原理 陷光