等离子体电解沉积技术 等离子体电解沉积技术 哈尔滨工业大学 化工学院 姚忠平 2011.02.21等离子体电解沉积技术发展概述 1.0 尖端放电现象 1. 尖端放电 强电场作用下,物体尖锐部分发生的一种放电现象称为尖 端放电, 属于一种电晕放电。 原理是物体尖锐处曲率大,电力线密集,因而电势梯度大 ,致使其附近部分气体被击穿而发生放电。如果物体尖端 在暗处或放电特别强烈,这时可以看到它周围有浅蓝色的 光晕。 放电物体接到电源上,它一边放电,一边不停的提供放电 需要的电荷,这种放电会持续下去。 电风车 静电除尘 火焰导电 静电马达 避雷针 2等离子体电解沉积技术发展概述 1.0 尖端放电 2.在表面改性技术的应用 (1)气体介质:如气体辉光放电等离子体技术,电火花加工 技术,机械化学抛光技术等,广泛应用于等离子体刻蚀、 材料合成和表面改性以及微电子器件等科学研究及技术应 用领域。 金属表面强化冷补机是利用正、负极尖端放电将电极材料 以离子化的形态转移并扩散至工件表面,使金属表面改性 ,并能进行堆焊及强化金属表面。 (2)液相介质:等离子体电解沉积技术 3等离子体电解沉积技术发展概述 1.