第5章 新型传感器原理及应用 u气敏传感器 u湿敏传感器 u微传感器 u光栅传感器 u光电式传感器 u光纤传感器 u集成化智能传感器 传感器概念、工作原理、性能参数、应用领域等相关问题一 气敏传感器 气敏传感器 5.1 5.1 气敏、湿敏传感器 气敏、湿敏传感器 气敏传感器是用来检测气体浓度和成分的传感器，它对于环境保护和安 全监督方面起着极重要的作用。 对气敏传感器有下列要求：能够检测报警气体的允许浓度和其他标准数 值的气体浓度，能长期稳定工作，重复性好，响应速度快，共存物质所 产生的影响小等。 由于被测气体的种类繁多，性质各不相同，不可能用一种传感器来检测 所有气体，所以气敏传感器的种类也有很多。近年来随着半导体材料和 加工技术的迅速发展，实际使用最多的是半导体气敏传感器，这类传感 器一般多用于气体的粗略鉴别和定性分析，具有结构简单、使用方便等 优点。半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体(主要是金属 氧化物)表面接触时，产生的电导率等物性变化来检测气 体。按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导 体表面或深入到半导体内部，可分为表面控制型和体控制 型。第一类，半导体表面吸附
