太阳能电池制造工艺 工艺流程以及工序简介磷扩散层 其主要是利用硅半导体p-n结的 光生伏打效应。即当太阳光照 射p-n结时,便产生了电子-空 穴对,并在内建电场的作用下 ,电子驱向n型区,空穴驱向p 型区,从而使n区有过剩的电子 ,p区有过剩的空穴,于是在p- n结的附近形成了与内建电场方 向相反的光生电场。在n区与p 区间产生了电动势。当接通外 电路时便有了电流输出。 硅太阳能电池的结构及其工作原理: 1.前言单晶硅太阳电池多晶硅太阳电池非晶硅太阳电池v 下面我们就硅太阳电池的制造工艺流程以及各工序进行简 单的介绍。 v 晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括:硅片清 洗、绒面制备、扩散制结、(等离子周边刻蚀)、去PSG( 磷硅玻璃) 、PECVD 减反射膜制备、电极(背面电极、铝背 场和正电极) 印刷及烘干、烧结、Laser和分选测试等。同 时,在各工序之间还有检测项目,主要有抽样检测制绒效果 、抽样 测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射率 等项目。 2. 硅太阳电池的制造工艺流程1)、硅太阳能电池的制造工艺流程: 分选测试 PECVD 清洗制绒 去磷硅玻璃 烧结 印刷电