UV2000-25光刻机说明书(共22页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上URE2000/25型深度光刻机说明书 中国科学院光电技术研究所目 录一、 整机系统描述二、 性能指标和设备参数三、 系统工作原理及结构1. 工作原理2. 机械结构图3. 电控系统框图4. 关键部件结构图5. 气路图四、 电器接线图及接线表五、 环境要求六、 安装要求场地大小、电源要求等七、 面板及仪表说明八、 操作步骤工作过程一、 整机系统描述URE-2000/25型深度光刻机，是在URE-2000A和URE-2000B基础上开发成功的，其主要特点是：灯源采用200W交流高压汞灯，曝光波长使用365nm，曝光面积f100mm（可扩展为150mm150mm）。曝光系统采用积木错位蝇眼透镜实现均匀照明和平滑衍射效应。掩模面的最大照度可达10mW/cm(用365nm探头测量，曝光面积f100mm)，照度可通过曝光系