硅外延生长

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2、多晶硅块检测简介,周建武2010.12.1,目录,一.硅的性质二.多晶硅块的检测项目三.影响少子寿命的主要因素,一、硅的性质,1、硅的物理性质2、硅的化学性质3、硅原料处理流程,1、硅的物理性质,a.固体密度:2330 kg/m3b.溶体密度:2500 kg/m3 c.硬度值:6.5d.晶体结构:面心立方e.熔点: 1414 ,硅的晶体结构,2、硅的化学性质,硅在地壳中的含量居第二位约为26,仅次于氧,所以说是遍地皆硅,原子量为28.0855 价电子排布3s2 3p2, 氧化价4。硅是硬脆性的,比玻璃要硬。在自然界中硅是以化合物形式存在,例如石英石,白岗岩中都含有硅。常温下,只与碱。

3、第五章 硅液相外延液相外延Liquid Phase Epitaxy,LPE 从过冷饱和溶液中析出固相物质并沉积在单晶衬底上生成单晶薄膜1963年,尼尔松发明,用于外延GaAs物理理论基础:假设溶质在液态溶剂内的溶解度随温度的降低而减少,那么。

4、第*卷 增 刊*+.年月半!导!体!学!报#8“Q!%!M_eQ$?_%!=“#_QNe#_%aD2*!%把 侧 向 外 延 技 术 引 入 到X5Q生 长中 $使 位 错 密 度 降 低 至,+E1Z*量 级*,+2,WW)年 $Q5T51E5D9HE96E9I!?_XX5Q增 刊 陈!俊 等 )!=_#aN法 侧 向 外 延 生 长 高 质 量X5Q并 形 成 平 整 表 面 $由 此 计 算 得 到 侧 向 外 延 生 长 合 并之 前 平 均 的 横 纵 生 长 速 率 之 比 为*b.2无 论 是 采 用8a67C;DC%2图*为 侧 向 外 延X5Q层 #+*%面A射 线 倒 空 间15GG;672晶 面 倾 斜 会 导 致 倒 空 间15GG;67中 衍 射峰 沿#轴 方 向 的 分 裂2图*中 只 观 察 到 。

5、 年产铝合金模板建设项目 项目建议书硅外延片建设项目建议书X X能源科技开发有限公司二零一九年 阅读注意事项1、目的本项目建议书(以下简称“建议书”)由X X能源科技开发有限公司提供数据,目的在于对该项目进行综合评估,为有兴趣的投资者和贷款者提供充分的信息。2、内容及风险因素本建议书含有X X能源科技开发有限公司的机密信息,有兴趣的投资者和贷款者对本建议书所提供的信息,还应认真研究,在充分考虑投资将面临的各种风险的前提下,判断和评价此项目,以做出自己的决定。3、责任声明本建议书内容的解释权及版权归X X能源科技开。

6、直拉单晶硅生长和工艺研究 摘 要:在信息化时代的今天,信息工业的坚强后盾就是高速发展的电子工业,而半导体硅材料又为电子工业提供了坚实的技术和物质基础。电子工业的逐步提高对硅材料质量和数量的要求,促使硅材料工业为满足这种需求而快速发展。 20 世纪中叶晶体管、集成电路( IC)、半导体激光器的问世,导致了电子技术、光电子技术的革命,产生了半导体微电子学和半导体光电子学,使得计算机、通讯技术等发生了根本改变,有力地推动了当代信息( IT)产业的发展。这些重大变革都是以半导体硅材料的技术突破为基础。目前,单晶硅电。

7、 标准GaN外延生长流程 高温除杂 反应室炉温升高1200 , 通入氢气,高温燃烧 除去衬底上的杂质,时 间10min。 蓝宝石衬底 4305m 高温通H 2 10min 标准GaN外延生长流程 : 长缓冲层 炉温降底控制在530 时, 在。

8、 I 摘 要 高效率的紫外线( UV)发光二极管( LED)和激光二极管在节能固态照明,微电子光刻技术,高密度数据存储,生物医学分析和环境科学等领域都有着极为广泛的应用前景,它的这些优良特性也吸引着研究者的极大兴趣。 GaN, AlGaN 基合金等 III-V 族氮化物半导体包括是目前开发紫外和深紫外发光二极管使用最广泛的材 料。近来证明一个基于氮化铝的 LED 发光器件发出波长为 210 nm 的深紫外光, 已经证实来自于 AlN 的带边发光 ( 带隙为 6.2 eV) 。 AlN 基 LED 的 210 nm 发光是迄今报道的所有种类的发光二极管中最短波长,同时这也引。

9、 万方数据铁和锰的硅化物纳米结构在硅衬底上的外延生长及其 XPS研究 摘 要 铁和锰的硅化物都具有丰富的物理性质,在光电器件、光纤互连、红外探测器和热电等方面有着巨大的应用潜力。 本文使用 分子束 外延方法成功在 Si(111)和 Si(110)表面制备出 铁和锰的硅化物纳米结构,使用 STM 和 XPS 对其进行了分析研究,探讨了生长参数对铁硅化合物在 Si(111)衬底上生长的影响,表征了铁硅化合物的电学性质,分析了铁硅化合物和锰硅化合物的电子结构,得出以下结论: ( 1)沉积温度在 600 800 时几种铁硅化合物能够共存。铁硅化合物的形核密度随。

10、精选优质文档倾情为你奉上 硅基锗材料的外延生长及其应用 摘要:硅是最重要的半导体材料,在信息产业中起着不可替代的作用。但是硅材料也有一些物理局限性,比如它是间接带隙半导体材料,它的载流子迁移率低,所以硅材料的发光效率很低,器件速度比较慢。在。

11、精选优质文档倾情为你奉上 第五章 硅和硅基薄膜的外延生长 51 概述 外延生长通常亦简称外延是半导体材料和器件制造的重要工艺之一,它的应用和发展对于提高半导体材料的质量和器件的性能,对于新材料新器件的开发,对于半导体科学的发展都具有重要意义。

12、硅基锗材料的外延生长及其应用 摘要:硅是最重要的半导体材料,在信息产业中起着不可替代的作用。但是硅材料也有一些物理局限性,比如它是间接带隙半导体材料,它的载流子迁移率低,所以硅材料的发光效率很低,器件速度比较慢。在硅衬底上外延生长其它半导体。

13、第五章 硅和硅基薄膜的外延生长 第五章 硅和硅基薄膜的外延生长 51 概述 外延生长通常亦简称外延是半导体材料和器件制造的重要工艺之一,它的应用和发展对于提高半导体材料的质量和器件的性能,对于新材料新器件的开发,对于半导体科学的发展都具有重。

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