场效应晶体管有二种结构形式: 1.绝缘栅型场效应晶体管 又分增强型和耗尽型二类 2.结型场效应晶体管-只有耗尽型 场效应晶体管在集成电路中被广泛使用,绝缘栅场效应晶体管(MOSFET)分为增强型和耗尽型两大类,每类中又有N沟道和P沟道之分。不象双极型晶体管只有NPN和PNP两类,场效应晶体管的种类要多一些。但是它们的工作原理基本相同,所以下面以增强型N沟道场效应晶体管为例来加以说明。4.1 MOS场效应晶体管的结构、工作原理 N沟道增强型MOSFET 的结构示意图和符号见图 4.1。其中: D(Drain)为漏极,相当c; G(Gate)为栅极,相当b; S(Source)为源极,相当e。 图4.1 N沟道增强型 MOSFET结构示意图(动画) 绝缘栅型场效应三极管MOSFET( Metal Oxide Semiconductor FET)。分为 增强型 N沟道、P沟道 耗尽型 N沟道、P沟道 1 N沟道增强型MOSFET的结构 取一块P型半导体作为衬底,用B表示。 用氧化工艺生成一层SiO2 薄膜绝缘层。 然后用光刻工艺腐蚀出两个孔。 扩散两个高掺杂的N型区。从而形成两个PN结。(