1、一、项目名称：毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统二、推荐单位意见我单位认真审阅了该项目推荐书及附件材料，确认全部材料真实有效，相关栏目均符合国家科学技术奖励工作办公室的填写要求。该项目在缺少核心器件、工艺能力薄弱等不利条件下，立足国内工业基础，突破了毫米波与太赫兹核心电子元器件、关键部件设计制造、核心测量仪器研发、自动测量系统集成等基础技术问题，在国内首次研制了 50GHz500GHz高性能毫米波与太赫兹元器件、模块、测量仪器和系统，其中核心元器件和模块全部自主可控，项目研究过程中获得国家授权发明专利 60 项，制定国家测量标准 2 项，所有技术拥有完全自主知识产权。该项目成果不
2、仅系统解决了太赫兹技术领域的测量问题，同时为国家毫米波与太赫兹安检、雷达、通讯等应用开发提供了必备的核心器部件，推动了国内毫米波与太赫兹技术研究和应用开发的快速发展，对太赫兹频谱的占有和利用具有重大的战略意义。该项目成果为国家毫米波与太赫兹仪器采购节约了大量经费，同时具有高性价比，获得了市场高度认可，已在国内 200 余家单位推广应用，涉及中国科学院、中国电子科技集团公司、中国航天科技集团公司、华为技术有限公司、同方威视技术股份有限公司、博微太赫兹信息科技有限公司、清华大学、上海交通大学等科研院所、高校和知名企业，产生了巨大的经济和社会效益。提名该项目为国家科学技术进步奖二等奖。三、项目简介1
3、主要科学技术内容2004 年太赫兹技术被美国评为“改变未来世界的十大技术” 之一，2005 年日本将其列为“ 国家支柱十大重点战略目标 ”之首，2005 年我国专门召开了“香山会议”，制定了我国太赫兹技术发展规划，太赫兹已经成为本世纪最为重要的新兴学科之一，也是现代科学技术研究热点之一。科技要发展，测试需先行，毫米波与太赫兹测试技术是毫米波与太赫兹技术科学研究和工程应用的技术基础和保障条件，是毫米波与太赫兹产业链中一个重要环节，对毫米波与太赫兹技术发展十分重要的意义，是开发利用毫米波与太赫兹频谱资源的重要的物质基础。项目立项之初，我国毫米波与太赫兹测量仪器尚处于空白，毫米波与太赫兹测量仪器市场
4、被美国安捷伦公司、VDI 公司、NSI 公司、SPC 公司和德国R&S 公司等国外公司产品所垄断，价格极其昂贵，许多单位被迫高价购买，后期维护和维修无法保障。同时，太赫兹元器件和核心部件国内处于空白状态，严重制约了我国毫米波与太赫兹加护发展与工程应用，使我国在毫米波与太赫兹频谱资源综合利用方面处于劣势。在“863 计划”、通用测试技术预研计划、测试仪器型号研制计划的支持下，项目历经 10 年，开展了毫米波与太赫兹信号发生、信号接收分析、矢量网络参数测量、功率测量、材料电磁特性测量、天线与雷达散射截面（RCS）测量等测量技术研究，立足国家现有工业基础，突破了毫米波与太赫兹核心电子元器件、关键部件
5、设计制造、核心测试仪器研发、自动测试系统集成、测量校准与计量标定等基础技术问题，研制了毫米波与太赫兹矢量网络分析仪、频谱分析仪、信号发生器和功率计四种最常用测量仪器，以及天线、RCS 和材料三种最常用自动测试系统，测量频率覆盖50GHz75GHz、75GHz110GHz、110GHz 170GHz、170GHz220GHz 、220GHz325GHz 和 325GHz500GHz 六个标准频段，共计 42 个型号产品，具有大动态范围、高灵敏度、高精度、高稳定性等技术特点，实现了从核心器件、部件到整机和系统的全产业链自主可控，具有批量生产和规模化推广应用的能力，在毫米波与太赫兹科学研究与工程应用
6、当中发挥了重要作用。2技术指标（1）测量频率范围： 50GHz500GHz（共计 6 个频段）（2）信号发生器输出功率： 0dBm（50GHz220GHz）-15dBm（220GHz500GHz ）（3）矢量网络分析仪动态范围： 85dB（50GHz500GHz ）（4）功率计功率测量范围： -40dBm+20dBm（50GHz500GHz）（5）频谱分析仪测量灵敏度： -130dBm（50GHz500GHz）（6）天线/RCS/材料测量动态范围：85dB（50GHz500GHz ）3技术创新与促进科技进步作用、意义针对我国毫米波与太赫兹雷达、通讯、安全检查、生物医学、射电天文、空间探测和气象
7、遥感等领域的迫切测试需求，重点开展了核心器件、部件、仪器、系统和计量校准等技术研究，突破了太赫兹二极管及 MMIC 设计制造、波导成型工艺、宽带高效倍频、宽带低损耗谐波混频、高灵敏度信号检波、定向耦合、匹配吸收、材料电磁参数反演、天线与 RCS 精确测量等关键技术，核心器件和部件全部实现自主可控，填补了我国 50GHz500GHz 高性能测量仪器和自动测量系统的空白。项目具有完全自主知识产权，国家发明专利授权 60 项，登记软件著作权 4 项，制定国家测试标准 1 项。项目科研成果不仅解决了毫米波与太赫兹测试技术难题，开发研制的毫米波与太赫兹元器件和整部件已广泛地应用于毫米波与太赫兹技术研究和
8、产品研制，为中国毫米波与太赫兹技术发展起到了重要的推动作用。4、主要科技创新我国毫米波与太赫兹测试技术发展主要面临以下几个方面的问题：一是缺少毫米波与太赫兹核心器件，只能对较低频率元器件扩展使用频率，严重制约了毫米波与太赫兹测量仪器发展；二是缺少毫米波与太赫兹频段高性能介质材料，我国现有介质材料在毫米波与太赫兹频段损耗大，难以满足高性能倍频、混频与检波电路制作要求；三是缺少毫米波与太赫兹器件模型以及电路设计与仿真软件，没有高效精准的器件模型和合适的设计与仿真软件，使毫米波与太赫兹核心器件和关键部件研制需反复试验与摸索，难以实现最佳性能；四是精密机械加工和电路制作工艺落后，难以满足 500GHz
9、 金属波导（0.56mm0.28mm）加工与内部电路制作要求；五是缺乏毫米波与太赫兹计量与量值溯源手段，毫米波与太赫兹频段计量条件工作频率尚没有覆盖到太赫兹频率，阻抗、材料、天线与 RCS 等参数也缺少溯源的途径。在无核心器件、无关键材料、缺设计手段与计量保障条件、工艺落后的情况下，项目组立足国内基础工艺条件，从基础做起，创造条件攻难关，突破了毫米波与太赫兹核心器件、金属波导成型工艺、超薄电路制作工艺、宽带高效信号发生、接收、检测和分离等基础技术；立足国产器件和材料，攻克了毫米波与太赫兹系统锁相、测量校准与误差修正、材料参数反演、RCS 标定、片上天线测量等系统集成技术与核心算法，以金属波导作
10、为毫米波与太赫兹传输线，四种仪器和三种自动测试系统整体推进，工作频率不断提高，实现了毫米波与太赫兹测量系统测量频率全面覆盖了 50GHz500GHz，解决了基本测量手段问题，为向更高频率推进奠定了基础。主要科技创新点如下：（1）太赫兹核心器件设计制造技术毫米波与太赫兹测量系统首先要解决毫米波与太赫兹核心器件自主可控问题，包括倍频二极管、混频二极管等核心器件，这些器件都要求有极小的寄生参数以良好的高频特性，国外只有美国 VDI 公司相关器件。本项目立足国产器件工艺，创造性地提出了阳极端点支撑空气桥肖特基二极管器件结构，提高了空气桥高度，大幅降低了严重影响器件性能的阳极端容性寄生参数；优化了相应制
11、造工艺流程，提出了多层金属空气桥制作工艺，解决了悬浮金属空气桥机械支撑强度差的难题；提出了柔性超薄 GaAs 晶圆的切割方法，解决了超薄 GaAs 易碎的技术难题，实现了 5um 厚超薄二极管芯片分片取片技术；优化了太赫兹二极管单片制造工艺流程，制作出了国内第一款500GHz 二极管倍频单片芯片。 （专利号：ZL201610347861.6；ZL201310208689.2） 。（2）提出了宽带高效太赫兹信号发生方法重点研究了基于二极管宽带倍频的太赫兹信号发生方法，提出了宽频带太赫兹固态信号发生方法，研制了达到世界先进水平的全固态倍频信号发生器（专利号：ZL201310199500.8） 。提
12、出了太赫兹宽频带无介质倍频方法，完全去除了介质基片，消除了介质材料寄生参量对性能特性的影响，大幅减小了倍频损耗，提高了倍频效率。 （专利号：ZL201210289370.2）提出了毫米波与太赫兹空间倍频功率合成方法，在狭窄的金属波导内部实现了宽带高效倍频信号功率合成，提高了倍频效率和输出功率；提出了多管芯串联方式，提高了毫米波与太赫兹倍频器压缩点的方法，进一步提高了倍频器输出功率和倍频效率。 （专利号：ZL201310433403.0）（3）提出了宽带高效太赫兹混频方法毫米波与太赫兹矢量网络分析仪动态范围、频谱分析仪接收灵敏度等关键指标取决于毫米波与太赫兹混频器的变频损耗。项目组通过深入研究，
13、揭示了毫米波与太赫兹混频器本振频率、谐波次数与混频器变频损耗之间关系，提出了非线性器件近端接地、本振双级滤波级联及二极管封装寄生作为设计参数的太赫兹宽带混频电路模型；提出了通过调节接地线电感量来补偿器件寄生参数的设计方法，弥补了器件寄生参数提取不准确带来的设计偏差；首次提出了高本振谐波混频方法，在本振电路引入倍频芯片，提高了本振频率，降低了谐波次数，降低了混频损耗，大幅提升了混频效率，有效地解决了太赫兹混频器带宽与变频损耗相互制约、相互矛盾问题。 （专利号：ZL201310683506.2） 。（4）提出了高稳定大动态范围 S 参数测试方法提出了高稳定大动态 S 参数测试方法（专利号： ZL2
14、01410357580.X） ，采用低次谐波混频技术，提高了接收机灵敏度；采用高效倍频链路技术，提高了信号发生器输出功率；采用斜率衰减器技术，均衡了低频与高频不平衡问题，提高了矢量网络分析仪测量平坦度；采用高方向性小孔耦合双定向耦合结构，有效地分离了入射波和反射波。最终实现了毫米波与太赫兹频段 S 参数幅频特性和相频特性的精确测量，在 50GHz500GHz 频率范围，实现了 S 参数测量动态范围优于 85dB，幅度稳定性优于0.3dB 的优良性能。（5）提出了毫米波与太赫兹信号动态检波与大动态范围功率测量方法目前毫米波与太赫兹功率测量主要采用热敏电阻或热电偶检波方式，主要存在响应速度慢、随环
15、境温度变化大、重复性差、稳定性差等缺点。提出了基于低势垒肖特基二极管检波的毫米波与太赫兹功率测量方法，突破了宽频带匹配、校准信号注入、功率探头温度、频率和功率三维校准与补偿等关键技术，研制了快速响应、高灵敏度、高重复性、高稳定性的毫米波与太赫兹功率测量仪器，最小检测功率优于-40dBm。（6）精密波导组件加工制作工艺毫米波与太赫兹频段主要采用矩形金属波导作为传输线，测量频率覆盖50GHz500GHz，矩形波导尺寸从最大的 3.76mm1.88mm 到最小的0.56mm0.28mm，波导尺寸小，加工精度高，公差需控制在微米量级，在矩形波导内部还需实现有源倍频、混频、检波、放大等功能，需要安装多层
16、电路（多层放大器、多层倍频器、多层定向耦合器等） 。采用硬质合金涂层铣刀，解决了微径铣刀切削及微切削毛刺处理难题，实现太赫兹矩形波导精密成型，以及多层金属结构的精密成型；采用多片叠加一次成型的多孔耦合片加工工艺，最小孔直径 0.1mm，孔径尺寸误差小于0.002mm。（7）提出了适应矩形波导的太赫兹集成电路制作方法在狭长的矩形波导当中，引入了太赫兹混合集成电路，混合集成电路基片厚度只有 30m，面临着狭长超薄基片制作成型问题。采用临时键合与解键合、平面集成电路微纳加工、间隔插图设计与贴边划切及拣片等关键工艺，实现了基于 30m 超薄石英基片的太赫兹薄膜电路混合集成。 （专利号：ZL201310
17、589287.1；ZL201310251866.5；ZL201310289411.2）（8）毫米波与太赫兹微小天线测试集成技术随着工作频率不断提高，毫米波与太赫兹天线尺寸越来越小，如何获取微小型天线三维方向图是毫米波与太赫兹天线测量的难题。提出了基于硬件同步触发及延迟补偿的天线测量系统精密控制方法，解决了天线测量系统快速时序调度与同步触发难题，通过硬件精确控制触发延迟，实现机械运动装置与仪器设备之间的精确同步，提高了天线测量效率及测量精度（专利号：ZL201310187822.0） ；提出了基于无线脉冲的天线测试干扰抑制方法，解决了复杂环境条件下天线高性能测试难题（专利号：ZL20131018
18、7835.8） ；提出了基于多端口 S 参数矩阵测试辅助矢量反演运算的相控阵天线有源反射系数测试方法，大大简化了测试流程，提高了测试效率（专利号：ZL201510939717.7） 。（9）毫米波与太赫兹低散射 RCS 测试系统集成技术提出了基于分布式外混频接收处理的 RCS 多通道同时测试方法，实现了目标 RCS 特性多角度同时测试，一次测试获取了更为全面目标 RCS 特性数据，大幅提高了测量效率（专利号：ZL201410366816.6） ；提出了基于窄脉冲调制器的射频门控方法，实现了 8ns 脉冲门控能力和 0.1ns 门控分辨率，提升了低散射目标 RCS 特性测量准确度（专利号：ZL2
19、01210576157.X） ；提出了一种基于稀疏化多探头阵列的近场散射成像校准方法，解决了多个收发通道之间幅相一致性校准难题，提高了阵列电扫散射成像准确度（专利号：ZL201410352605.7；ZL201410182753.9） 。（10）毫米波与太赫兹材料测试系统集成技术提出了基于分裂式谐振腔一腔多模技术的材料介电特性高精度宽带测试方法，实现了低损耗材料宽频带、高精度介电常数测试能力（专利号：ZL201410214421.4） ；提出了基于自由空间门校准的太赫兹材料介电特性测试方法，解决了 50GHz500GHz 频段材料电磁参数高精度测试难题，材料电磁参数测量不确定度由10%提高到优
20、于5%（专利号：ZL201310613942.2） ；提出了激光测距与姿态自动调节相结合的反射率测试自动校正方法，提高了平板材料反射率参数测试准确度（专利号：ZL201310683938.3） 。四、客观评价1、科技成果评价2016 年 11 月 25 日，中国电子科技集团公司科技部在北京组织以王小漠院士为组长，金国藩院士为副组长的成果鉴定小组对 “毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统 ”成果进行评价，评价结论为：“该项目技术复杂，研制难度大，在毫米波与太赫兹二极管及 MMIC 设计制造、宽带高效倍频、宽带低损耗谐波混频、高灵敏度信号检波、定向耦合、匹配吸收、材料电磁参数反演、天线
21、与 RCS 精确测试、波导成型工艺等方面取得了重大技术创新，核心器件和部件全部实现国产化，综合性能达到了国际先进技术水平，其中在325GHz500GHz 太赫兹信号产生和检测方面处于国际领先。该项目社会效益和经济效益显著，对推动毫米波与太赫兹发展和工程应用，具有重大价值。 ”2、国家科技支撑计划课题验收意见2013 年 1 月 23 日以北京光电技术研究所陆耀东研究员为组长的验收专家组，对“大功率窄脉冲低散射隐身目标 RCS 特性测试系统” 的验收意见：“该项目采用一体化设计路线，突破了窄脉冲的射频门控、多误差的 RCS 校准及目标RCS 二维/三维快速成像等关键技术，解决了低 RCS 值隐身
22、目标精确测试的难题，整体性能达到目前国际同类产品先进水平。 ”2015 年 12 月 9 日以电子科技大学王厚军教授为组长的验收专家对“1 毫米和亚毫米波测试仪器与部件技术”项目的验收意见： “该项目首次建立了二极管宽带精准模型。提出了空间多层倍频方法，解决了现有元器件的局限性导致倍频器压缩点低的问题。提出了宽带可调谐偶次谐波混频器设计方法，建立了偶次谐波混频电路模型，解决了太赫兹混频器宽频带和低变频损耗相互制约的问题。项目成果已用于目标特性分析和片上天线测试，创造了良好的经济效益”。2015 年 2 月 6 日以总参 61 所崔俊化高工为组长的验收专家组，对“110GHz325GHz 四种测
23、试仪器”鉴定验收意见： “该项目突破了毫米波波导精密加工和连接、毫米波元器件与电路一体化仿真设计、双定向耦合器设计和加工制造、宽带毫米波放大倍频链路设计、低损耗谐波混频、二极管高灵敏度检波等关键技术，实现了 110GHz325GHz 频段毫米波信号产生、频谱分析、 S参数网络测量、高灵敏度功率检测，样机 S 参数网络测量动态范围 100dB，功率检测灵敏度-35dBm”。2013 年 1 月 23 日以北京光电技术研究所的陆耀东研究员为组长的验收专家组对“毫米波矢量网络分析仪扩频单元” 验收意见： “该项目实现了50GHz170GHz 三个标准波段 S 参数测量功能。该项目采用毫米波多级倍频和
24、谐波下变频技术，突破了毫米波空间合成倍频、谐波混频、双定向耦合器、校准及定标、矢量校准及误差修正等关键技术，综合性能达到国际先进水平”。2016 年 8 月 16 日以北京邮电大学俞俊生教授为组长的验收专家组对“863”项目“太赫兹测试系统关键技术研究” 进行验收，综合评议为 A。2016 年 1 月 13 日以解放军信息安全测评认证中心荀京京高工为组长的验收专家组，对“ 电磁材料综合测试平台 ”的验收意见： “该项目由材料综合测试软件模块、矢量网络分析仪、自由空间/同轴探头/弓形框/传输线组成，实现了45MHz325GHz 全频段介质材料的复介电常数、复磁导率、损耗角、反射率、透波率等电性能
25、参数的自动测试。该项目突破了自由空间门校准方法，解决了毫米波频段电磁参数测试难题，制定国家标准 1 项，综合性能指标国内领先，与国际同类产品水平相当。 ”3、曾获科技奖励情况表 1 科技奖励汇总表成果名称 获奖时间 获奖名称 奖励等级 授奖单位 获奖类别毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2017 年 12月中国电子学会科技进步奖 一等奖中国电子学会 科技进步奖毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）2017 年 12月中国电子科技集团公司科技特等奖 中国电子科技集团科技进步奖成果名称 获奖时间 获奖名称 奖励等级 授奖单位 获奖类别测量系统 进步奖 公司毫米波与太赫兹测试及应用2
26、017 年 1月中国电子科技集团公司十大科技创新团队一等奖中国电子科技集团公司创新团队奖太赫兹测试仪器及装备核心前端2016 年 12月首届中国军民两用技术创新应用大赛银奖工业和信息化部，国防科工局，全国工商联技术创新奖高灵敏大动态太赫兹测试仪器与成像设备核心前端组件2017 年 8月第六届中国创新创业大赛军转民大赛二等奖科技部火炬高技术产业开发中心技术创新奖4、知识产权情况该项目获授权专利 60 项，软件著作权 4 项，制定国家标准 2 项，发表论文41 篇。5、媒体报道情况2015 年 3 月份中华人民共和国科学技术部、安徽省科技厅等机构先后对项目在太赫兹领域取得的成果进行了报道，对项目创
27、新成果高度认可，称项目创新成果打破了国外对我国高端仪器的技术壁垒，建立了我国高端仪器的出口规定，建立了我国太赫兹频段信号发生、频谱分析、S 参数分析、功率检测的测试条件，从而保障了我国毫米波及太赫兹领域技术研究的顺利进行，具有重要的社会和经济效益。五、推广应用情况本项目在太赫兹通讯领域、毫米波与太赫兹安检和无损探测领域、太赫兹技术研究领域得到广泛应用，应用单位包含国内知名大学、科研单位和设备研发生产单位。表 2 推广应用情况汇总表应用单位名称 应用项目应用的起止时间应用单位联系人/电话应用情况应用单位名称 应用项目应用的起止时间应用单位联系人/电话应用情况四川九洲电器集团有限公司毫米波与太赫兹
28、（50GHz500GHz）测量系统2014 年至今王成国15328221601客户购买了太赫兹网络分析仪、信号源、频谱仪，测试频率覆盖了110GHz500GHz，主要用于毫米波与太赫兹通讯设备研发，用于空中和天基平台通讯系统。客户反映仪器运行状态良好。上海华为技术有限公司毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2016年 8 月至今张劲松15601728832客户购买了毫米波近远场复合天线测试系统，测试频率到 110GHz，系统自建成以来应用一直非常饱满，为研发人员节约了大量的外部/外地测试时间，同时也促进了研发进程，降低了产品化转化时间，较好的客户各种新型微波毫米波天线研发与生产测试
29、需求。安徽博微太赫兹信息科技有限公司毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2015 年至今武帅15209833973仪器和自动测试系统用于毫米波与太赫兹安检仪设备研发与批量生产过程测试，使用方便、性能稳定；太赫兹高灵敏度接收模块批量应用于毫米波与太赫兹人体安检设备，噪声系数低，微弱信号检测能力强，累计采购 3000 套。同方威视技术股份有限公司毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2016 年至今赵自然13910183037测试仪器应用于机场、海关等太赫兹人体安检仪等新型人体安检仪的研制和生产中，表现出优良的性能和可靠性；高灵敏度测试模块应用于我单位新型人体安检仪的定型和小
30、批试制，已开始批量投放市场，取得了很好的效益。深圳市飞鸿达科技有限公司毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2016年 7 月至今王政华13923720616客户购买了毫米波材料测试系统，主要用于各种毫米波吸波材料研制开发测试，系统性能稳定，自供货以来一直满负荷运转，较好的满足了客户各种新型吸波材料研发与生产测试需求，支撑了用户产品快速投入市场，取得了良好的经济效益。中国兵器工业集团第二六研究所毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2013年 9 月至今王团结13389223115客户购买了毫米波天线测试系统，测试频率到 110GHz，主要用于毫米波雷达的科研开发与生产测试
31、，系统扩展频率方便、测试精度高、性能稳定可靠，运行状态良好，对客户毫米波雷达设备发展提供了有力支撑。中国电子 毫米波与太赫 2014 年 王志辉 用于太赫兹收发信道设备研制生产，解决应用单位名称 应用项目应用的起止时间应用单位联系人/电话应用情况科技集团公司第十研究所兹（50GHz500GHz）测量系统至今 17729822506 了毫米波与太赫兹收发信道增益、功率、幅频特性、杂散、相位信息、驻波等技术指标的测试难题。中国电子科技集团公司第二十九研究所毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2015 年至今高昭昭13548048120用于组建天线测试系统、毫米波信号收发模块测试系统，仪
32、器性能稳定，使用情况良好，支撑了毫米波与太赫兹前沿技术研究和产品研发。中国电子科技集团公司第五十四研究所毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2017 年至今刘志鹏13784697234使用了 110GHz500GHz 太赫兹网络分析仪、信号源、频谱仪等仪器用于毫米波与太赫兹通讯设备研发，以及国家空中和天基平台通讯系统研发。仪器性能稳定，运行状态良好。 北京航空航天大学毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2014 年至今阮存军13501205336用于毫米波与太赫兹成像理论与方法研究。用户反映产品具有动态范围大、测试灵敏度高，稳定性好、测量重复性高等特点，解决了毫米波与太
33、赫兹成像技术研究的基本测量问题。电子科技大学毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2014 年至今宫玉斌13808036055用于毫米波及太赫兹 CMOS 芯片、全集成收发系统芯片、回旋振荡管等前沿科技研究提供了很好的测试条件和技术验证保障，产生了良好的社会效益。哈尔滨工业大学毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2014 年至今邱景辉13804606192用于毫米波与太赫兹成像系统研制，解决了毫米波与太赫兹材料、有源部件、无源部件、天线及整机性能测试难题。基于此测试条件师生发表数十篇前沿科技论文。上海交通大学毫米波与太赫兹（50GHz500GHz）测量系统2015年 9 月至今史丽云18217686924客户购买了毫米波片上天线测试系统，频率上限覆盖到 325GHz，主要用于各种非传统馈电方式片上型毫米波微小天线的方向图、增益、驻波等电性能精确测试，系统填补了国内空白，为客户开展以 5G 通信应用为代表的新型天线设计开发提供了必备测试手段。西北工业 毫米波与太赫 2015 胡楚锋 客户购买了毫米波天线与 RCS 测试系统，
