1、 目 录l 激光 LASER简介l 机器特性及应用ESI UV Laser5330激光简介 -类别l Laser常用的有 CO2,UV两种厂家l 生产 UV的厂家有 : ESI, Siemens, LPKFl 生产 CO2的有 :Lumonics, Hitachi, Sumitomo, Mitsubishil 我们公司用的是 ESI UV 5330各种光线的区分l 一般光可分为:红色 ,橘色 ,黄色 ,绿色 ,青色 ,蓝色 ,紫色波长: 0.76um-0.38uml 红外线的波长: 0.75um1mml UV: 紫外线的波长 ,0.18um0.4um激光对物体的反应激光部分被反射部分被吸收部分
2、穿透FR4,Cu,Glass对光的吸收波长 (m)Total AbsorptionUV VisibleFR4CuGlassCourtesy of ESIIR机器特性及应用l 光的直径 :25-50um25um 50umZ = +2 mmZ = -2 mmZ = 0 mm激光切割的方式Punch Spiral Trepan Circle Adv spiralUV laserPunch Spiral Trepanning Circle ADv SpiralSee next page ADv SpiralADv SpiralSpiral Out Spiral In Spiral In & OutLA
3、SER在盲孔中的运用l LASER盲孔一般分两个步骤 :两步 Spiral1.把面铜割开 ,并去除部分 PI或胶2.用低能量将剩余部分胶去除 .Raw MaterialCopperCopperKaptonAdhesive2nd Step Laser Ablation1st Step Laser Ablation盲孔形成的整个过程过程 :F/A Inspection Plasma Desmear Shadow Metalization (F/A Required)Electro-Copper Plating (Agitation + VibrationMicro etchAOI Scan for “Black Hole”