1、更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区XX 光电材料有限公司 文件编号 Q/WS9308-8-2008TDR-80 单晶炉工艺操作规范 (简要) 版本号：A/0 页码： 共 9 页生效日期：2008 年 4 月 21 日取单晶作业1准备作业内容 注意事项1) 按规定穿好服装，戴好劳保手套 2）准备好有关工具和取晶栏 2取出单晶1）确认炉内恢复常压，打开副室小门 2）按下副室升按钮，升起副室炉筒 *一次升到位3）把副室炉筒慢慢侧移，同时把接晶盘移到 *晶棒受到撞击会造成单晶下方，稳住晶棒，避免使其受到撞击 籽晶或细颈断裂4）把取晶栏放在晶棒正下方，移开接晶盘 *晶棒底下严禁站人5）按下
2、晶快降按钮，将晶棒降入取晶栏， 以籽晶基本不受力为准 6）按住细颈，用钳子将细颈掐断，使籽晶上 *重锤高速旋转会造成保留足够长（尽量维持原长的细颈）.捉住 钢丝绳损伤钢丝绳使重锤慢慢旋转，取消拧力后再放手 7）籽晶如需更换，把旧籽晶取下放入待清洗 *注意重锤温度很高籽晶盒 8）重锤升入副室炉筒，升起炉盖移到侧面 9）准时送入检测区 *晶棒严禁磕碰单晶炉拆炉作业更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区1准备作业内容 注意事项1）按规定穿好服装，戴好口罩、手套 2）准备好拆炉工具等 2取出石墨件 1）放好不锈钢台车 2）戴好耐高温手套 3）用专用工具依次取出导流筒、保温大盖 4）取出的石墨
3、件倒置放在台车上 *避免石墨件与金属直3取出埚底料 1）放好不锈钢桶 接接触2）用钳子夹住石英埚上沿部分提起，放入不 *埚底料尽量保持完整锈钢桶 3）戴好耐高温手套，把埚底料放入不锈钢桶4取出石墨埚帮 1）戴好耐高温手套 2）把石墨埚一瓣瓣取出，碎渣倒入不锈钢桶 *碎渣避免掉入埚杆波纹 3）取出埚托、埚杆，取埚杆时用专用工具拧 管内掉不锈钢螺丝 4）取出的石墨件放在不锈钢台车上，转移到 规定区域，使其自然冷却 单晶炉清扫作业1准备作业内容 注意事项1、准备好工具和吸尘管 它氧化杂质。2、戴好口罩 更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区2清扫管道及过滤罐1）打开抽气管道后盖，使管内自然
4、冷却 2）慢慢打开真空球阀给过滤罐充气，充满后 关闭球阀 3) 拧下大罐盖螺丝，慢慢取下盖子，抽出过 *注意被大罐盖砸伤滤网，用吸管将其吸净，并将罐内残留物 *粉尘为 SiO2及其它 吸净,然后装好过滤网 氧化杂质。4）将过滤罐密封面和盖上的密封圈擦干净， *避免划伤密封面将大罐盖螺丝上好 5）此时抽气管道内已冷却，用吸管吸净管道 *每炉必须清理内附着物，用专用工具对炉底排气管道进 行疏通,残渣由吸尘器吸走，确认畅通 6）将管道后盖密封面和密封圈擦干净，用工 具将螺丝匀力上紧 3炉盖清扫1）用刷子和吸尘管清扫内壁上的附着物 *要全面、仔细2）用沾酒精的纤维纸将炉盖内壁彻底擦一遍 *重点是焊缝、
5、观察窗、3）检查是否有打磨不净的部位，如有再次打 小副室翻板阀等部位磨并用纤维纸擦拭干净 4）内壁有孔部位，用酒精纤维纸仔细擦内部 *检查密封圈有无损坏5）用酒精纸整体擦拭炉盖内壁，确认无污物 出槽，翻板冷却水管有更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区6）将管道后盖密封面和密封圈擦干净， 无漏水现象7）用专用盖子将小副室上口盖上，盖上翻板 注意检查预留堵头是否阀，关闭副室小门 有漏水现象4石墨件清扫 1）确认石墨件自然冷却完毕 2）戴好口罩手套，温度不高可用一次性手套 3) 检查石墨件有无老化、损坏，必要时更换 4）用刷子和吸尘管对石墨件进行清扫，然后 *有强力附着物时用研用干纤维纸
6、擦拭干净 磨布打磨，再吸净5炉内清扫1）确认充分自然冷却，可以清扫 2）准备好吸尘罐和刷子 3）炉底和加热器用刷子和吸尘管吸净 *检查石墨件有无损坏4）保温材料上部吸除干净5）主炉筒与炉盖接合部位吸除干净 *清理干净波纹管内杂物，6）检查加热器电极螺丝是否松动 防止螺丝丝口堵塞,卸不7）确认炉底内排气口没有堵塞 下来.每炉清理要彻底6石墨件安装1）石墨件安装前用吸尘器再吸除一遍 2）用专用工具拧紧不锈钢螺丝，装好埚杆 *埚杆要拧紧，不要过紧，3）装入埚托，与埚杆要完全接触 *埚托要放牢固、平稳4）石墨埚依次装好，与埚托接触良好 *注意带垫片或弹簧垫5）给定埚转，确认无异常 *检查坩埚与加热器缝
7、隙匀6）主炉筒与炉盖外侧用酒精纸擦拭一遍 均匀坩埚无摇头，摆动或更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区7）打扫炉前卫生，移走无关物品，准备装料 偷停、爬行现象。装料作业1装石英埚作业内容 注意事项1）从指定场所取来炉料和石英埚 *注意相邻炉的交叉作业2）戴好口罩、帽子、手套 不应出有拆炉和大清扫 3）取出石英埚，对光检查，确认无异常 *无裂纹、无气泡、无斑4）石英埚内壁用酒精纤维纸擦拭一遍 点、无变形、内壁光滑5）把石英埚装入石墨埚内，放平稳 *要平衡安装2 装料1）换好装料服和一次性手套 2）核实炉料品种重量将其放在装料车上3）首先放入母合金，然后小碎料平铺于埚底 防止大料磕裂埚底
8、造成漏料3）大块料放在中央，用中块料填补固定 *大块料严禁放在顶部4）中块料放在大块料周围，小块料填补空隙 *开始装料后严禁再接触5）装料过程，禁止料与料、料与石英埚激烈磕 料以外任何物品，否则碰,一定要轻拿轻放 必须更换装料用手套6）料快装完时，若料过多可以在石英埚边缘 放一圈中块料，要向中心倾斜，严禁超出埚 严禁料搭在埚与加热器间边，以防化料时熔硅外流，损坏石墨件 7) 再装入剩余的料 3装导流筒1）装料完成后给定埚转 2 转，确认转动无摩擦 *装热系统装好后确定化无异常，快速将坩埚降至化料埚位 料埚位（最低埚位）2) 降埚同时用吸管将石英埚、石墨埚、加热器、 保温碳毡上的碎硅渣吸净 更多
9、免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区3) 埚降到化料埚位后停止旋转,装好保温大盖 *大盖和保温罩要吻合4) 安装导流筒要小心,下沿严禁与硅料接触, *石墨件接触硅料会使单晶如可能接触要调整料的摆放 碳含量增高5) 若还有少量硅料,可放在导流筒中央,但不 *用手按住硅料轻微晃动能与导流筒接触 可判断是否接触导流筒4 合炉1) 酒精纤维纸擦拭炉盖与主炉筒接合部位 2) 确认炉盖下沿与大盖间的间隙,转动炉盖 *炉盖压住大盖会严重损至主炉筒正上方 坏石墨件3) 确认炉盖与大盖无接触, 慢降下炉盖合炉 5副炉筒清扫安装 1) 在清扫棒上缠上酒精纤维纸,从上至下,螺 *重锤与夹头每炉要动一下，旋式
10、擦拭副室炉筒内壁 不能拧得过紧防止高温烧死2）降下重锤,用酒精纤维纸擦拭干净升起重锤 *不能用手直接接触重锤，3）用酒精纤维纸擦净副室炉筒与小副室接合处 并定期打磨4) 转动副室炉筒至小副室正上方,降下合炉6籽晶安装1）戴好一次性手套 该作业与炉内清扫同步进行2）确认籽晶外观完好，分清型号 3）把籽晶装入钼卡头，要顺利装入 考虑钼夹头和钼销的热膨胀4）籽晶升入副室炉筒内，防止掀翻板时被撞坏 *防止钼销卡死在夹头内5) 把小副室内壁及小副室门内壁再擦拭一遍，*不能硬敲击籽晶和钼销关闭副室小门，均匀上紧螺丝开炉前作业作业内容 注意事项更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区1真空检验 1）
11、冷却水压0.18Mpa,炉体无明显震动 2）点击主泵按钮 2-3 次，启动真空泵， *如果挂有警示牌，绝对确认真空泵运转无异常 不能启动开关3）慢慢打开抽气球阀 1/3 的程度，等到 应 15 分钟内抽至 5Pa 以内，真空计显示 2000Pa 时全部打开 因系统久置或新系统。可4）开氩气流量计球阀，流量 20L/min 左右 进行 4充入炉内，2-5 分钟后关闭球阀，可重 复操作，直至炉内真空度达到 5Pa 以内 5）若达不到所要求的真空度，首先检查泵 油和真空泵，若无异常，再对炉体进行 检漏作业,直至达到所要求真空度 2氩气水路1）检查氩气充气系统不漏气，流量计浮子浮起正常 *浮子浮起不正
12、常，要清2）检查水压0.18Mpa，冷却水管水流畅通 理流量计化料作业作业内容 注意事项1加热化料1）打开氩气流量计球阀开关 2）氩气流量定在 20L/min,炉压 1000Pa 左右 3) 打开加热开关，根据下表逐步加热 *确认电压及电流表正常时间 min 0 20 20 20 *视实际情况，化料功率电压 V 20 30 40 45-50 18 吋系统应90KW4）化料过程中要注意观察炉内情况 *化料时如有沾边现象应5）塌料后给定埚转 1 转，根据倒影看石英埚 保持化料功率使其熔掉更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区内壁是否沾料，确认后升埚位 30mm *掌握各炉台的化料时间6）
13、化剩两三块料时，功率降至上炉引晶功率 加热化料时间4 小时。7）观察是否有杂质，如有降下籽晶，准备用 *及时降温，防止跳硅发生细颈粘住杂质并提出，记录重量 *做好记录8）升高埚位 50mm,欧路值接近上炉引晶值时 *如有硅跳现象，可降瘟切入自动，调整氩气流量,炉压 1300Pa 左右 和增大氩气流量控制9）20 分钟后，升埚位使导流筒下沿与液面 *计算定位或目测定位距离为 15mm 左右 10）晶转给定 10 转，埚转给定 6 转 11）校准单晶生长控制器各参数值 引晶放肩作业作业内容 注意事项1接触 1）籽晶降至导流筒上沿位置，保持 10 分钟 *降时注意，绝不能精神2）籽晶降至距液面 10
14、mm 处，保持 10 分钟 分散或干其他事（玩手机（籽晶插入熔体过快应力过大籽晶易断裂） 等）防止重锤降入液体3）籽晶浸入熔体浸润，然后根据结晶形状 * 调整温度 引晶时不能吃籽晶太多4）结晶形状以光圈完整存在，且四个棱点无 *记录好引晶时 SP 值生长趋势,此状态保持 5 分钟，没有大的变化 *记录好引晶功率即为引晶的合适温度 2引晶1）打开晶升电源，计长清零，拉速给定 0.5- *可利用埚转调整液面温度1mm/min 左右，同时适当降低加热功率 2）缩颈；籽晶直径均匀地由 10mm 缩至 3mm，拉速逐步提到 3-6mm/min，保持 3mm 细颈长 *这样有利于位错排除度70mm 拉速波
15、动控制在 1 mm/min 以内， *细颈长度长了可使无位错3）总长度约 150mm 左右，即可缓慢降低拉速 生长稳定3放肩1）引晶结束，分段降拉速至 0.5mm/min,开始 更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区放肩，先慢后快放平肩 2）控制肩的生长速度，可以通过改变温校速率 *放肩过程,棱边宽度不或欧路值来调节，直径在 50mm 前，调节幅度 能超过圆弧的 1/2小,50mm 后可加大调节幅度，加快放肩速度 3）肩的总高控制在 40mm 以内（6“),合理的温 度控制,使转肩等径后拉速稳定在 1.2mm/min 4转肩1）肩直径达到 145mm 左右时，视生长速度快慢，开始分段
16、慢提拉速，直到 2 mm/min 转肩 *拉速最高不超过 2.5mm/min2）当 153mm 时，拉速洚为 1.2mm/min，同时按比例给定埚升 3）转肩形状应该是圆滑的“溜肩”， 4) 调整好 IRCON，压好光圈，调整好温度和拉 *光圈压在 1/3-1/2 之间速，计长清零 5直径测量1）将测径仪支架平稳安在观察窗框上，固定好 2）调好焦距，使镜头内的测量标和被测光圈尽 *测量时测径仪安装一定量清晰，然后紧固镜头 要牢固，镜头不能晃动3）平滑移动镜头，使镜头内测量标与光圈左内 侧边缘对准，数显表清零，然后移动镜头使 *操作工要掌握好测径仪的测量标对准光圈右内侧边缘，数显表显示值 误差程
17、度即为测量值 4）如测量放肩直径的大小，对准肩的边缘即可 5）炉内测量直径与晶体实际直径存在一定误差 更多免费资料下载请进：http:/ 好好学习社区两者要每炉进行对比，以便把误差减至最小 做好记录等径作业作业内容 注意事项1等径控制1）转过肩后，对等径状态观察 20min，确认棱线明显后，切入自动，认真做好记录2）每隔 10 分钟对炉内观察一次，确认有无 *有异常情况不能确认时 异常， 每小时做一次记录 应征求班长工艺员的意见 3）等径由输入计算机控制器的参数进行控制，*拉晶工不得私自修改参数部分数据因单晶种类、直径、装料量等 要修改，须经工艺员同意不同而有差异，应进行修改 4）等径过程发生异常，必要时对参数进行修改 2放肩失败1）第一次放肩变晶时，视实际情况处理，若 *严格控制回熔功率(不超有杂质必须提出 过 80KW),回熔次数(放肩和2) 如正常放肩坏两次,应提出 40-50mm 棒料 等径回熔总和不超过 4 次)3）提出时将肩快速升到导流筒中间部位，给 拉速 6mm/min 保持 10min,然后快速上升至
